ОКПД-2 (ОК 034-2014 (КПЕС 2008)): Код 28.99.20.150
Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов
Подробная расшифровка кода ОКПД-2 — 28.99.20.150
Внимание! Позиция с данным кодом включена дополнительно! Для получения подробной информации обратитесь к истории изменений позиций классификатора.
Код находится в разделе C «Продукция обрабатывающих производств», является конечным в иерархии и не содержит дочерних кодов.
Пояснение
Эта группировка в том числе включает:
- оборудование для плазмохимической обработки полупроводниковых пластин;
- оборудование атомно-слоевого и физического осаждения тонких пленок;
- системы вакуумные кластерные из двух и более технологических модулей для обработки полупроводниковых пластин
